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激光光学元器件
炬光科技的晶圆级微纳光学(WLO)精密压印加工制造技术,结合微纳光学设计目标进行母版的设计与制造,在6英寸或8英寸晶圆POG (Polymer on Glass)基板上进行高精密压印,易于扩展的晶圆级工艺,可满足微纳光学元器件的大规模生产。
WLO 的优势:适合大批量生产的全晶圆级工艺;紫外线固化、低温、低压工艺;针对微米/纳米结构的适形微流体填充技术;对小于 1 微米的特征进行适形再现;可回流的光学材料,热性能高。
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